產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
GX100N 愛德華半導(dǎo)體干式真空泵為大修之間零維護樹立了新標準。 效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)的泵送能力。
GX100N 愛德華半導(dǎo)體干式真空泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負載制程。 模塊化設(shè)計允許用戶對 GX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。 緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內(nèi)的多種安裝選項。
詳情介紹：
概述
GX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)的泵送能力。
GX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能，允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套的網(wǎng)絡(luò)選項，可泵持續(xù)運轉(zhuǎn)。
GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負載的工藝。模塊化設(shè)計允許用戶對 GX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內(nèi)的多種安裝選項。
應(yīng)用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
金屬腐蝕
植入源
功能和優(yōu)勢
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本多可降低 50%
無需預(yù)防性維護
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠程
可以改進工具吞吐量
可用的快的負載鎖定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
需要恒流閥附件
GX100L 愛德華半導(dǎo)體干式真空泵訂購信息：
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958
GX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)的泵送能力。
GX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能，允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套的網(wǎng)絡(luò)選項，可泵持續(xù)運轉(zhuǎn)。
GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負載的工藝。模塊化設(shè)計允許用戶對 GX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內(nèi)的多種安裝選項。
應(yīng)用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
金屬腐蝕
植入源
功能和優(yōu)勢
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本多可降低 50%
無需預(yù)防性維護
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠程
可以改進工具吞吐量
可用的快的負載鎖定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
參數(shù)
| 績效 |
|
| 峰值速度 | 105 m3h-1 |
|
|
62 ft3min-1 |
|
|
1750 lmin-1 |
| 極限壓力 | 5 x 10-3 mbar |
|
|
3.75 x 10-3 Torr |
|
|
0.5 Pa |
| 700 Torr 排氣壓力下的極限 |
|
| 功率 | 1 kW |
| AUC（有源設(shè)備控制器） | 0.05 kW |
| 水 |
|
| 水入口 | 1 slm |
| 氮氣 | 0 slm |
| 安裝詳細信息 |
|
| 占地面積（不包括排氣裝置） | 0.20 m2 |
| 重量 | 120 kg |
| 進氣口連接 | ISO 63 |
| 出氣口連接 | NW25 |
| 極限噪音 | <55 dB(A) |
需要恒流閥附件
GX100L 愛德華半導(dǎo)體干式真空泵訂購信息：
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958
