iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內保持連續(xù)的泵送能力。
iGX 干泵包括以太網連接功能，允許通過網頁查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套的網絡選項，可泵持續(xù)運轉。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合應用條件，包括從清潔到中等負載的工藝。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
硅腐蝕
金屬腐蝕
功能和優(yōu)勢
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比，設施成本多可降低 50%
無需預防性維護
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠程
可以改進工具吞吐量
可用的快的負載鎖定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
參數(shù)
峰值速度
620 m3h-1
365 cfm
10333 l min-1
極限壓力
7.00E-04 mbar
5.25E-04 Torr
0.07 Pa
700 Torr 排氣壓力下的極限
極限
1.6 kW
AUC（有源設備控制器）
0.05 kW
水入口
2 slm
氮
4 或 14 slm
占地面積（不包括排氣裝置）
0.20 m2
重量
220 kg
進氣口連接
ISO100
連接
NW25
極限噪音
< 55 dB(A)
需要恒流閥附件。
iGX100L 200 - 230V 50/60Hz A54610958
iGX100L 380 - 460V 50/60Hz A54610959
iGX100N 200 - 230V 50/60Hz A54611958
iGX100N 380 - 460V 50/60Hz A54611959
iGX100M 200 - 230V 50/60Hz A54612958
iGX100M 380 - 460V 50/60Hz A54612959
iGX600L 200 - 230V 50/60Hz A54630958
iGX600L 380 - 460V 50/60Hz A54630959
iGX600N 200 - 230V 50/60Hz A54631958
iGX600N 380 - 460V 50/60Hz A54631959
iGX1000M 200 - 230V 50/60Hz A54632958
iGX1000M 380 - 460V 50/60Hz A54632959
iGX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54681958
iGX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54681959
iGX100MTI 200 - 230V 50/60Hz A54648958
